真空度测试仪的测试原理

真空度测试仪的测试原理

  利用离子电流在不同真空条件下的漏电流不同，来测试鉴别真空灭孤室优劣。

  将灭弧室两触头拉开一定的开距，动触头施力高压脉冲静触头施加负离子电流。由于漏电电流非常弱，易于受到外界不同的干扰而降低精度。因此，必须通过励磁线圈绕于灭弧室外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场来加速离子流，按比例放大采样率。这样，在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子作螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于直径不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定出各种管型的真空度与离子电流的对应关系曲线。当测知离子电流后，调用内部相对应的比例参样，加以运算，得出准确真实真空度值。也就是说通过查询该管型的离子电流——真空度曲线获得该管型的真空度，这一过程由计算机自动完成。