YSBZ6000真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时，真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系，而与电离电流的峰值仅有概率上的相关间接关系。因此，开发了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。